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設備簡介

TOL-5100P/5050P/5030P皮秒激光微加工系統采用國際上先進的超快激光器，適合多種苛求微細精密，敏感無損、干凈早齊的應用，以“冷加工”為特色，主要應用于陶瓷、硅片、玻璃、藍寶石、等薄、脆、硬、透明材料精密切割。劃線加工，加工表面無熱損傷現象，最小崩邊尺寸可達到5μm以內。

產品特征

1、冷切去除，皮秒級時間能量釋放，材料無受熱變性之虞; 

2、定深去除，原子級反應，控制加工深度幾乎不受材料種類限制;

3、清凈去除，生成物呈離子態被收集，被加工面保持材料本色; 

4、00級大理石工作臺，龍門結構，穩定性極高;

5、專業軟件，應用經驗的表達，智能工程數據處理，易快設備操控;

6、選用全閉環直線電機，加工速度快，精度高，最小分辨率可達1μm; 

7、獨有三維空間光學設計結構，光學質量優秀。

應用領域

TOL-5100P/5050P/5030P皮秒激光微加工系統主要應用于藍寶石、藍玻璃、陶瓷、半導體等超硬透明易碎材料的激光切割、鉆孔等加工。

樣品圖片